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■ 基于laser-driven光源技術(shù)上認(rèn)可技術(shù)——高的性能和穩(wěn)定性
■ 單光源范圍：200nm到800nm
■ 避免使用多種光源——傳統(tǒng)的氘、鎢、氙氣光源
■ 長使用壽命——5000hrs，低成本
■ 長校準(zhǔn)間隔——相對于D2 /鎢/氙氣光源，低漂移，使用成本低
■ 可追蹤的校準(zhǔn)——校準(zhǔn)由合作方執(zhí)行，基于NPL
■ 溫度穩(wěn)定的外殼——高穩(wěn)定性測量
LDLS EQ-99CAL
Broadband, High Brightness Calibration Source
◆ 輸出光譜：190nm - 2100nm
◆ 使用壽命：>9000hrs
◆ 寬帶光輸出通過FC連接器，NA=0.22
◆ DUV-Vis和寬帶光纖可兼容
◆ 燈外殼：82.3 x 85.7 x 76.2 mm (3.2 x 3.4 x 3.0 in) 0.7 kg (1.5 lbs)
◆ 電源：107 x 111 x 254 mm (4.2 x 4.4 x 10 in) (excl feet) 1.4kg (3 lbs)
◆ 供電：100-240v, 50/60Hz, 2.5A
◆ 冷卻：環(huán)境空氣,沒有必要輔助冷卻
◆ 氮?dú)猓?span style="font-family: Verdana, Geneva, sans-serif;">Recommended purging for longest life & for DUV operation, Grade 6
◆ 合規(guī)：CE Mark, Class 1 Laser Product
傳統(tǒng)輻射校準(zhǔn)的校準(zhǔn)光源在光譜范圍上都有局限性，比如氘、石英鹵鎢、氙弧。沒有一個(gè)光 源包含完整的從200nm到800nm的紫外可見光譜。此外，傳統(tǒng)的光源需要在使用100小時(shí)之后再次校準(zhǔn)，而且需要再使用500小時(shí)之后更換光源。通過 革命性的Laser-Driven Light SourceTM (LDLS)技術(shù)上認(rèn)可技術(shù)，Energetiq的校準(zhǔn)方案擺脫了這些限制，它為輻射校準(zhǔn)提供了具有寬光譜范圍、高亮度的單個(gè)光源。EQ-99CAL結(jié)合了輻射 性能好，壽命長，校準(zhǔn)時(shí)間間隔長，低擁有成本等特點(diǎn)。在350nm范圍進(jìn)行校準(zhǔn)，對于氘和石英鹵鎢燈是非常具有挑戰(zhàn)性的。比如說氘燈，在350nm的輻照 度比在深紫外 200nm的輻照度低一個(gè)量級。同樣，同樣,石英鹵鎢燈在350 nm的輻照度比在可見光范圍的輻照度要低多于一個(gè)量級。此外，它常見的問題就是有兩個(gè)分離的波長校準(zhǔn)光源，增加了額外的不確定性。使用LDLS，一個(gè)單一 的光源包含了從200nm到800nm的整個(gè)波長范圍，并且在350nm處的輻照度比傳統(tǒng)的光源氘和石英鹵鎢燈，要高一個(gè)數(shù)量級。
Energetiq的EQ-99CAL產(chǎn)品已經(jīng)通過Bentham Instruments, Ltd的校準(zhǔn)。Bentham的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)來自國家物理實(shí)驗(yàn)室(英國)。校準(zhǔn)證書包含每臺(tái)EQ-99CAL的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)和不確定性分析，可以按照客戶要求提供樣品校準(zhǔn)報(bào)告。
■ 光源光譜輻射測量
■ 光譜靈敏度測量傳感器、探測器、相機(jī)
■ 質(zhì)量控制
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