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參數(shù) |
NPL-3 |
LGI-505 |
LGI-511 |
|
波長, μm |
0.337 |
0.337 |
0.337 |
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脈沖能量, μJ |
30 |
120 |
240 |
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平均功率, mW |
3 |
120 |
240 |
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光束直徑, mm |
2 |
5 |
5 |
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脈沖重復頻率: |
1-100 |
5-1000 |
1 -1000
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脈沖寬度, ns |
5±1 |
8 ±2 |
8 ±2 |
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尺寸, mm |
350x325x150 |
484x510x215 |
1140x525x345 |
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重量, kg |
10 |
35 |
105 |
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電壓, V |
220 |
220 |
220 |
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功率消耗, w |
50 |
1200 |
1500 |
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制冷方式 |
風冷 |
水冷 |
水冷 |
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工作溫度, OC |
0...+40 |
0...+40 |
+10...+40 |
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質(zhì)保工作時間, h |
500 |
1000 |
500 |
氮分子激光器的發(fā)射帶在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 擁有橫向和縱向激勵的脈沖氮分子激光器，由于其獨特的性能（波長337nm、脈沖寬度小于10ns、平均功率0.01-1W），被廣泛應(yīng)用于微電子領(lǐng)域如 光掩模、復雜的集成電路、薄膜電阻的生產(chǎn)、處理。由于其短波長更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亞微米量級的元件。此外，還被用于多種感光材料的高效曝 光光源。
相關(guān)產(chǎn)品：
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